四、印刷環(huán)境調(diào)控
服務(wù)于半導(dǎo)體例如IC(集成電路)制造、晶圓凸起、電子基板互連;光電顯示技術(shù)中的LCD(Liquid Crystal Display——液晶顯示器)、薄膜晶體管、EL(Electro Luminescence——場致發(fā)光技術(shù))、有機發(fā)光二極管顯示面板(Organice Light-Emitting Diode,OLED)、壓電陶瓷顯示器、真空熒光顯示器等等電子網(wǎng)版印刷技術(shù)中,印刷環(huán)境的調(diào)控是非常關(guān)鍵的一項調(diào)控技術(shù),通常對印刷車間的溫度、濕度和潔凈度等都有著極其特殊的要求。對印刷車間的無塵工作間設(shè)計。通常潔凈度為1萬到10萬級,溫度為22℃±2℃,溫度為60%±7%。對印刷精細(xì)度要求特別苛刻的無塵工作間要求溫度在23℃±0.5℃,濕度為45%±2.5%,亦有的印刷車間采用20Pa的正壓舉措以防止和減少污染物進(jìn)入無塵車間。
1、印刷潔凈車間的設(shè)計
印刷潔凈車間的空氣潔凈度是指空氣中的含塵度,空氣潔凈度級別是以含塵的濃度(單位體積中塵粒的個數(shù))來劃分的/建立潔凈度的標(biāo)準(zhǔn)。是潔凈技術(shù)發(fā)展的重要標(biāo)志。
世界上各國在制定自己的標(biāo)準(zhǔn)時,大都參考美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)。我國頒布的《工業(yè)企業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》其等級劃分和美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)亦相一致。
2、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E(USA FEDERAL STANDARD209E)懸浮粒子潔凈度級別美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E懸浮粒子潔凈度級別參見表4。
3、中國電子工業(yè)部潔凈室級別空氣潔凈度等級
表5及表6分別為原中國電子工業(yè)部潔凈室級別空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)的溫濕度要求,可供讀者參考。
4、相關(guān)行業(yè)潔凈室必要的潔凈度
表7及表8為相關(guān)行業(yè)潔凈室必要的潔凈度要求,可供讀者參考。
(待續(xù))
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