2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果及分析2.1 等離子體炬長(zhǎng)度與功率的關(guān)系 2種進(jìn)氣方式均在電壓60V,電流為0.4A,功率為24W 條件下開始起弧放電。在氣體流量為15L/min時(shí)放電功率和弧長(zhǎng)的關(guān)系曲線見圖3 圖3表明2種進(jìn)單體方式等離子體炬長(zhǎng)度都隨放電功率增加而增大,且增大幅度相近,沒有顯著差別。在起始階段,弧長(zhǎng)隨放電功率的增大迅速增大,但當(dāng)放電功率增大到40W時(shí),繼續(xù)增大放電功率等離子體炬長(zhǎng)度增長(zhǎng)趨緩。2.2 等離子體炬長(zhǎng)度與進(jìn)氣量的關(guān)系 在功率為55W 時(shí),以進(jìn)氣量為變量,觀察等離子體炬長(zhǎng)度的變化情況,見圖4。 對(duì)單體直接輸入到等離子體反應(yīng)區(qū)方式,等離子體炬隨進(jìn)氣量的增大而增長(zhǎng),且存在~個(gè)最高點(diǎn),后隨進(jìn)氣量的增大弧長(zhǎng)減d\。對(duì)單體輸入到等離子體下游區(qū)的進(jìn)氣方式,在氣流量較小時(shí),等離子體炬長(zhǎng)度就達(dá)到最大值,發(fā)生絲狀放電,隨流量增大,弧長(zhǎng)反而變短,但等離子體炬變粗。這說明放電由帶有絲狀的電弧放電轉(zhuǎn)變?yōu)榫鶆虻幕」夥烹姟?nbsp; 等離子體區(qū)下游進(jìn)樣放電,等離子體炬直接達(dá)到最大,這可能是由于氣體分流,由空心內(nèi)電極流出的氣體稀釋了放電區(qū)流出的離子,從而在低流量下起輝較晚.2.3 電極的電壓與電流關(guān)系曲線 2種進(jìn)樣方式放電的電流電壓曲線見圖5.放電曲線近似成典型的介質(zhì)放電具有的線性關(guān)系,由于介質(zhì)的存在,避免了單體在被解離后不會(huì)因?yàn)殡妶?chǎng)的存在而吸附在電極上,從而不能到達(dá)基材表面.(待續(xù))
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