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L-P2106感光抗蝕油墨在LCD圖形制造全過(guò)程(4)

2007/8/10 15:04:24 人評(píng)論

       6、顯影  6.1 顯影的成份:0.8%~1.2%的碳酸鈉水深液?! ?.2 顯影的過(guò)程:顯影時(shí)未曝光的油墨在顯影液中先是呈現(xiàn)溶脹現(xiàn)象,溶脹完成后即脫落顯出圖型,這時(shí)可在流水下沖洗干凈即完成了顯影的程序。但隨著時(shí)間的推移,顯影液的濃度將有改變,出現(xiàn)了顯影困難時(shí)可適當(dāng)增加顯影時(shí)間并酌情更換新液?! ?.3 顯影點(diǎn)的確定:  1)顯影點(diǎn):曝光后的板進(jìn)入顯影機(jī)的顯像區(qū)時(shí),未感光的油墨開始脫落的點(diǎn)(在顯影區(qū)的長(zhǎng)度的位置)為顯像點(diǎn)。  2)顯影點(diǎn)的確定:它同顯影的溫度顯影液的濃度和噴嘴的壓力有關(guān)?! ?)一般顯像點(diǎn)均設(shè)在顯影區(qū)的3/4的位置(即待顯影的板面已經(jīng)過(guò)影區(qū)的75%的位置,再經(jīng)過(guò)25%的路程是將顯出的全部板面使其無(wú)殘膜)?! ?)水洗:洗去多余的殘膜和多余的顯影液確保圖形和底層的清晰?! ?.4 控制好顯影機(jī)壓力、溫度、傳送速度及顯影液的濃度的關(guān)系  7、后固化:  為彌補(bǔ)曝光的不足和加強(qiáng)油墨和底層的結(jié)合力,根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)的需要可將板再次加溫,強(qiáng)化交聯(lián)和固化??稍?00的電熱恒溫烘箱中保持15-30分鐘,或用遠(yuǎn)紅外烘道進(jìn)行?! ?、蝕刻:  L-P2106感光抗蝕油墨有著良好的耐蝕刻性,它不僅在一定條件下耐感性氯化銅蝕刻液,還能抗多種酸性蝕刻液。如三氯化鐵系列、硫酸雙氧水系列、硝酸系列的蝕刻液等。  8.1 靜蝕刻:靜蝕刻就是將所需蝕刻的ITO板浸入靜止的蝕刻液中,進(jìn)行置換反應(yīng),經(jīng)一段時(shí)間后即完成圖形的蝕刻。這種形式操作簡(jiǎn)單,無(wú)需專用設(shè)備,但應(yīng)注意的是蝕刻的時(shí)間,待蝕刻液同ITO的最底層反應(yīng)完畢后,就獲得了完整的ITO圖形。如果時(shí)間長(zhǎng)了會(huì)出現(xiàn)過(guò)蝕現(xiàn)象,使線條變細(xì),改變了圖形內(nèi)部的幾何尺寸?! ?.2 動(dòng)蝕刻:是通過(guò)蝕刻液的運(yùn)動(dòng)快速、循環(huán)更換被蝕刻表面的蝕刻液,促使反應(yīng)加快速度,使圖形更具忠實(shí)性。目前一般動(dòng)蝕刻均采用噴淋式的蝕刻機(jī),雖需添置專用設(shè)備,但調(diào)好噴嘴和蝕刻速度后,特別適合大批量的連續(xù)生產(chǎn)。應(yīng)說(shuō)明的是在操作中ITO面應(yīng)朝下,能使蝕刻液快速的垂直交換,保證蝕刻圖形尺寸的準(zhǔn)確和蝕刻質(zhì)量。  8.3 去墨:去墨條件應(yīng)在55~60,5% NaOH的溶液中進(jìn)行,墨層在80秒內(nèi)應(yīng)是片狀脫落?! ?、水洗:  這是一道非常重要的工序,水洗方式應(yīng)為三級(jí)水洗。  即:……循環(huán)水洗→市水洗→純水洗(有條件應(yīng)進(jìn)行在線干燥)  10、小結(jié):  由于L-P2106感光抗蝕油墨有優(yōu)良的分辨率和良好的抗蝕能力。能完成LCD中ITO的精密圖形,而且價(jià)格低廉故備受業(yè)內(nèi)人士青睞。相信今后在本行業(yè)中會(huì)有更廣泛的推廣和使用。來(lái)源:北京力拓達(dá)科技有限責(zé)任公司 李春甫

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