摘要:本文詳述了L-P2106感光抗蝕油墨在LCD的ITO層上進(jìn)行圖形制造的全過(guò)程。同時(shí)對(duì)機(jī)理、工藝參數(shù)和質(zhì)量保證也進(jìn)行了討論?! £P(guān)鍵詞:預(yù)干燥、網(wǎng)印、曝光、顯像點(diǎn) Key words:Pre-dry、screen printing、exposure、developing point 1、 前言 LCD在光電顯示的族群內(nèi)是極為重要的一員,而在LCD中的ITO層施行線路的制造是一個(gè)重要組成部分。L-P2106感光抗蝕油墨以它高分辨率和良好的抗蝕性和優(yōu)良的價(jià)格比開始用于ITO層蝕刻的掩膜。經(jīng)過(guò)幾年的推廣,應(yīng)用廠家不斷增加,現(xiàn)在制出2mil的線間線寬已經(jīng)普及,而相當(dāng)數(shù)量的廠家已經(jīng)制出1mil的線間和線寬,近期經(jīng)過(guò)工藝條件的調(diào)整和環(huán)境的改造制出1/2mil~1/3mil的線間線寬已經(jīng)有報(bào)導(dǎo),看來(lái)應(yīng)用L-P2106有廣闊的空間發(fā)展?! ?、L-P2106型感光抗蝕油墨 2.1 L-P2106型感光抗蝕油墨的主要萬(wàn)分及成像原理: 1) 主體:堿溶性不飽合樹脂 2) 感光體:光引發(fā)劑和助劑 3) 稀釋劑:選用低毒的有機(jī)溶劑或單體,液態(tài)脂肪族飽合羧酸脂為反應(yīng)的稀釋劑?! ?) 填料:以滑石粉為主 5) 色料: 6) 其他:消泡劑、流平劑、觸變劑等 2.2 主要成份的選擇: 首先我們選用堿溶的不飽合樹指,選擇低毒、味道小的活性稀釋劑,這樣在油墨的生產(chǎn)中無(wú)三廢產(chǎn)生。油墨的主體我們選用馬來(lái)酸酐共聚物作為骨架樹脂,不飽和化合物賦予其感光性能;羧基賦予其堿的水溶性:用單體及溶劑、稀釋劑、無(wú)機(jī)填料來(lái)調(diào)節(jié)油墨粘度及觸變性。選用的光引發(fā)體系及世界先進(jìn)的不含填料的用于PCB制造圖形的干膜抗蝕劑相若?! ?.3 反應(yīng)基本原理: 改性骨架樹指、稀釋劑、光引發(fā)劑、助劑等構(gòu)成一完整的感光體系,此體在UV的光照下產(chǎn)生活性游離基,發(fā)生聚合、交聯(lián)。在底片的透明區(qū)(感光部位)不溶于顯影液(顯影液為0.8- 1.2%Na2CO3)而非透明區(qū)(未感光部分沒(méi)有被UV照射),故未發(fā)生聚合和交聯(lián),被顯影液溶解,再用流水沖去多余的與堿相溶的殘墨,即顯出了抗蝕的圖形。以上的過(guò)程都是在油墨成膜后進(jìn)行的。而成膜的原理為:因?yàn)椴捎昧艘簯B(tài)脂肪族飽和羧酸脂為反應(yīng)的稀釋劑,它與主體樹指、光引發(fā)劑和助劑構(gòu)成,其特點(diǎn)是在常溫下為液態(tài),不揮發(fā),而在加熱到80~90℃溶劑開始揮發(fā),經(jīng)過(guò)一定的時(shí)間便形成為待曝光的掩膜?! ?、L-P2106型感光抗蝕油墨做掩膜制造ITO圖形的簡(jiǎn)易流程?! 坎肌A(yù)干燥→曝光→顯影→水洗→后固化→蝕刻→去膜→清洗→干燥…… 3.1 涂布: 3.1.1 油墨的攪拌:可用手工攪拌和振動(dòng)攪拌,但優(yōu)先選用機(jī)械攪拌,攪拌時(shí)按一個(gè)方向,不能正反兩方各方向混攪,以防產(chǎn)生氣泡。油墨攪拌應(yīng)不小于20分鐘,攪拌后靜止半小時(shí)再用。 3.1.2 輥涂:它是目前最佳的涂布方法。其特點(diǎn)是速度快,質(zhì)量好(涂布均勻尤其適用連續(xù)作業(yè)和批量生產(chǎn),但需投資一臺(tái)輥涂機(jī))?! ?.1.3 網(wǎng)?。哼@是最常見的涂布方法 1) 網(wǎng)目的選擇:應(yīng)選擇具有較小的摩擦系數(shù)、平滑和優(yōu)良透黑率的尼龍絲網(wǎng)為宜?! ?) 絲網(wǎng)目數(shù)選擇:以200-250目。這種網(wǎng)目可獲得5-8m(干燥后)墨層厚度。在一般條件下的參考值,其厚度同油墨的固體含量、絲網(wǎng)厚度、膠刮硬度和膠刮與承印物的夾角大小、運(yùn)行速度等有關(guān)?! ∮湍穸瓤砂聪旅婀酱致缘赜?jì)算:Ft·X%·S Ft:絲網(wǎng)厚度;X%為系數(shù);S:固體含量。 油墨通過(guò)網(wǎng)孔漏在板面上的厚度實(shí)際小于Ft,因此要乘以一個(gè)系數(shù)?! ?) 在網(wǎng)印中一般中小企業(yè)大都為手工。手工操作有許多弊?。骸 ∫皇鞘止げ僮魅藛T時(shí)間久了壓力減少,使漏墨量、厚度減少; 二是設(shè)備精度差,影響板面墨層的均勻度,所以推薦使用機(jī)械網(wǎng)印。
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